이빔으로 보론을 증착하는 경우 증착은 꽤 잘 되는 물질로 알려져 있습니다.
가장 무난하게 사용 가능한 도가니의 재질은 카본으로 알려져 있으며,
메이저 제조사의 가이드를 보면 그라파이트 라이너를 사용하면 된다고 되어 있습니다.
컨테미네이션 되면서 카바이드가 생성되는 문제가 있습니다.
소스의 양을 65%~70%정도로 유지해주면서, 스윕을 적절하게 해주어야 문제가 발생하지 않습니다.
증착을 하면서 소스를 파고드는 특성이 있기 때문에, 넓은 부분을 고르게 스윕해주어야 합니다.
-
보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
-
[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 lam-r-korea 현재 플라스마 식각 공정은 이전보다 더 고선택비(high selectivity), 비등방성 에칭(anisotr...