저진공 측정용으로 사용하는 진공 게이지 입니다.
자주 사용하는 명령어 정리
@253PR1?;FF / 진공도 확인 명령어
@253EN1?;FF / setpoint 설정 상태 확인
@253EN1!ON;FF / setpoint 1을 사용 가능한 상태로 변경
@253SP1! 5.00E-2;FF / setpoint 1을 5.00E-2 값으로 변경
@253ATM!7.60E+2;FF /대기압 설정
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보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
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[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 lam-r-korea 현재 플라스마 식각 공정은 이전보다 더 고선택비(high selectivity), 비등방성 에칭(anisotr...