RF파워로 세라믹 타겟을 스퍼터링 할 때는 램프 기능을 적용하는 것이 좋다.
본 예제는 레서피를 작성하고 그것에 따라 간단하게 램프업다운을 구현한 프로그램이다.
사용 PLC는 LS산전 XGT 시리즈이다.
M00010 ; 램프 레서피 모드 설정 접점
M00001 ; RF 파워 온/오프 스위치
P0001 ; RF 파워 출력 접점
P0002 ; 램프 업 완료 신호
P0003 ; 램프 다운 완료 신호
P0004 ; 스퍼터링 시간, 공정 완료 시간
C0001 ; 램프 업 경과시간
C0002 ; 램프 다운 경과시간
T0001 ; 램프 업 지연 시간
T0002 ; 램프 다운 지연 시간
T0003 ; 파워 유지 시간
D0000 ; 램프 시간 설정
D0002 ; 초당 파워 변화 비율
D0004 ; 램프 업 출력 파워
D0010 ; 램프 다운 출력 파워
D0012 ; 파워 유지 시간 설정
.jpg)
