스퍼터 챔버 실링 재료로 오링을 사용하는 경우 포스핀과의 반응성이 없으므로 문제가 되지 않는다. 다만, 스퍼터 시스템이 고온의 플라즈마를 사용하기 때문에 포스핀이 분해되어 부산물을 생성할 가능성이 있으므로 주기적으로 오링의 상태를 점검하고, 크리닝 및 교체 설치를 실행해야 한다. 크리닝 및 교체 주기는 사용자의 공정 빈도를 고려하여 설정해 준다.
구리 가스켓을 사용하는 경우 오링 재질보다 보다 높은 수준의 밀폐 성능을 갖고 있어 UHV 수준의 진공도를 실현 할 수 있다.
그러나, 오링과 달리 구리는 포스핀과 반응 가능성이 있다.
다만, 그 조건이 고온의 환경이어야 하고, 스퍼터 시스템의 플라즈마 노출 부위가 아니라면 문제가 되지 않는다.
오링과 마찬가지로 공정 중에 포스핀이 분해되어 발생되는 부산물에 영향을 받아 문제가 발생 할 수 있으므로, 오링 보다는 짧은 주기로 가스켓을 교체 설치해 주는 것이 좋다.
습기등에 노출되면 부식이 빨라질 수 있기 때문에 가스켓의 보관에도 신경을 써야 한다.
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