가스 처리 장치 스크러버 구분

스크러버는 전처리 방식에서의 가열 여부와 후처리 방식에서의 물 사용 여부에 따라 구분 됩니다.

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스크러버는 전처리 방식에 따라 Burn Type, Plasma Type, Heat Type으로 구분되고, 잔여물의 후처리 방식에서 물 의 사용 여부에 따라 Dry Type과 Wet Type으로 구분된다. 예를 들어 전처리에서는 Plasma 방식, 잔여물의 후처 리에서 Wet 방식을 채택한 스크러버로 정화할(처리할) 수 있는 가스는 과불화합물 가스(NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8), 가연성 가스(SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3), 수용성 가스(Cl2, HF, HCl, NH3)이다. 이렇게 다양한 가스 중 에서 한국의 메모리 반도체 생산설비에서 다량으로 사용되는 불화수소산 가스는 NF3(삼불화질소), C4F6(육불화 부타디엔), F2/N2 혼합가스이다.

중화처리 설비의 장단점 요약

요즘 산업시설의 독가스 유출 및 폭발사고가 많이 발생하고 있어서 한번 찾아 봤습니다.



독성 가스는 그 특성에 맞게 중화 처리한 후 허용농도(TWA)이하로 대기 방출 하여야 한다.

제조 및 사용 시설의 경우 중화처리를 대상으로 하는 각 설비에 가능한 가깝게 설치하여 독가스를 직접 처리하여야 한다.

중화 처리 방법은 산화, 환원, 중화, 가수분해, 흡수, 흡착 또는 이들의 조합 또는 동등이상의 방법에 의해 처리하는 것을 원칙으로 한다.

중화 처리 설비의 장단점

참고 사이트
http://www.gasnews.com/news/articleView.html?idxno=69724