CVD에서 사용하는 자성유체 씰 선택 참고 내용

참고 사이트 https://kr.rigaku-mechatronics.com/case/

CVD에 적합한 유체실을 선택 하면서 고려해야 하는 것은.

사용 온도와 사용하는 가스에 따른 부식 문제이다.

유체실은 고온에 견딜 수 있는 유체를 사용해야 하며, 고온에서 아웃개싱이 거의 나오지 않아야 할 것이다.
그리고, 부식에 의한 문제를 해결하기 위해서는 프로세스 측에 베어링이 있어서는 안된다.

UHV 페러실에 필요한 것은 디퍼런셜 펌핑이다.

UHV 챔버에서 페러실을 사용하기 위해서는 디퍼런셜 펌핑이 필요하다.

디퍼런셜 펌핑 없이는 에어포켓에서 나오는 가스와, 아웃개싱으로 인해 초고진공을 유지하기 어렵다.

장마철 진공 장비 사용 할 때 주의 사항

진공 장비에서 물, 수분은 아주 처리하기 힘든 물질입니다.
진공상태를 만든다는 것은 결국 수분을 제거하는 과정이라고 생각해도 됩니다.

대한민국의 장마철은 습도가 매우 높습니다.
공기중에 물이 많이 포함되어 있다는 의미이지요.
당연한 결과로 습도 조절이 되지 않는 환경에서 진공장비를 사용한다면 문제가 발생 할 수 밖에 없습니다.
특히, 진공도에 문제가 당장 발생 할 것입니다.

크린룸처럼 습도 관리가 되는 환경이라면 크게 문제가 없을 것 같지만, 크린룸 환경에서는 설비의 과부하로 전체 공조에 문제가 발생하는 경우가 많습니다.

여름이 되기 전에 미리미리 점검하고, 교체가 필요한 부품이나 필터등을 교체해주는 것이 좋습니다.

크린룸같은 큰 설비 구축이 어려운 환경에서 사용되는 진공시스템을 운영중이라면, 장마철에 많은 주의를 해야 합니다.

박막 증착 물질의 관리 또한 신경을 써야 하지요.
대기에 방치해 놓게 되면, 표면에 물이 흡착되고, 박막 증착 장비의 공정에서 문제가 발생하는 경우가 있습니다. 예를 들면, 이빔 장비에서는 아크가 심하게 발생하는 원인이 될 수 있겠지요.

여름, 장마철에는 될 수 있으면, 챔버를 벤트하지 않는것이 좋습니다.
대기에 노출되는 시간을 최소한으로 줄여야 합니다.

박막 증착등에 사용되는 소스, 타겟등은 글러브 박스나 데시케이터 같은 곳에 보관하여 수분의 흡착을 방지 해 주는 것이 필요합니다.

챔버 베이킹 기능이 있는 시스템이라면, 베이킹을 해주는 것이 좋습니다.

그리고, 결로 현상이 있는지 확인해 주어야 합니다. 결로 현상은 주로 냉각수 라인의 온도가 낮기때문에 발생합니다.
결로현상은 전기적인 문제를 일으키는 경우가 많기 때문에 특히 주의 해야 합니다.

휴가철에는 챔버를 벤트해놓은 상태로 방치하면 안됩니다.
진공챔버는 항상 진공상태로 유지해주어야 합니다.
휴가기간에 공조에 문제가 발생하지 않도록 주의 해야 하며, 특히, 결로 현상으로인안 전기 문제가 발생하지 않도록 해주어야 합니다.

챔버가 물을 먹은 상태가 되면, 진공도, 공정 조건, 샘플 특성 모든 면에서 안좋은 결과가 초래 됩니다.