QCM 센서가 안정적이지 않은 경우

QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우가 있습니다.이런 증상이 발생하게 되면, 박막 증착을 하면서 많은 어려움을 겪게 됩니다.QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우 몇가지를 확인해 볼 수 있습니다.
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1. QCM 센서의 라이프 타임센서의 라이프 타임은 보통 25% ~ 98% 정도에서 안정적으로 측정이 됩니다. 사용하지 않은 센서를 교체했는데, 99%~100%가 나오면서 안정이 안되는 경우가 있는데, 이러한 경우에는 센서를 다른 것으로 교체해 보는 것이 좋습니다.

2. 냉각수 온도가 높은 경우센서 해드에 냉각수가 필요하고, 안정적인 온도를 유지해 주어야 안정적인 측정이 가능합니다. QCM 센서는 온도당 10Hz정도의 주파수 이동현상이 발생 할 수 있습니다.

3. 센서 표면 습기의 영향크리스탈 센서 표면에 습기가 영향을 주는 경우 문제가 될 수 있습니다. 간혹 증착하는 물질이 챔버를 벤트하고, 다시 진공을 만들면서 습기를 머금거나, 남아있는 상태로 안정성에 문제를 일으키는 경우가 있을 수 있습니다. 특히, ITO, MGO 같은 물질을 증착하는 경우 이러한 문제가 있을 수 있습니다.

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4. 케이블의 문제, 그리고 노이즈이러한 문제는 참 해결하기 어려운 경우가 많습니다. 케이블의 길이와 연결 부분에 노이즈 성분을 찾아서 제거해 주어야 합니다.

5. 케이블의 길이와 오실레이터의 문제보통은 사용하다가 발생하는 일반적인 문제가 오실레이터와 케이블의 접촉 불량 문제 입니다. 사용하다가 불안정한 문제가 발생한다면, 가장 먼저 확인해 보는 것이 좋습니다.

Inficon IQM-233 박막증착 컨트롤러 노이즈 발생과 그라운드 처리

박막증착 컨트롤러 중에서 사용 자유도가 높고, 가성비가 좋은 제품을 선택하라고 하면, IQM-233 카드를 선택하겠습니다.

다만, 사용하다가 보면 컴퓨터 슬럿에 설치해서 그런것인지 노이즈에 취약한 경향이 있습니다.

노이즈가 발생하는 경우에는 우선 센서 측정 선이 전원, 공정 파워, 모터류 등의 노이즈원과 함께 묶여 있지 않은지 확인 하는 것이 좋습니다.
이런 종류의 선과 센서 측정 선은 함께 묶여있으면 노이즈가 영향을 줄 가능성이 많습니다.


그리고, 그라운드가 불안정한 경우에도 발생할 가능성이 많습니다.

기본적인 접지를 보강해주고 매뉴얼에 제시되어 있는 방식으로 그라운드를 해주면 대부분의 노이즈 문제를 해결 할 수 있을 것입니다.

자동으로 증착을 하는 경우 노이즈로 인한 문제는 샘플의 질에도 영향을 주지만, 고장의 원인이 되기도 합니다.