한 챔버 안에서 바라트론게이지 값이 일반 진공게이지 값과 다른 이유

보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다.

이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다.

보통의 진공게이지는 가스의 종류에 따라서 그 값이 달라지는 반면, 바라트론게이지는 그 값이 가스에 영향을 받지 않습니다.

그래서 주로 공정을 위한 압력 측정에는 바라트론게이지를 사용하고, 그 값을 스로틀밸브와 연동해서 사용합니다.

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바라트론 게이지를 사용하면서 주의할 점은,

1. 급격한 압력차이 주의 해야 합니다.
2. 파우더 같은 것들 조심해야 합니다.
3. 오염 조심해야 합니다.
4. 주기적인 칼리브레이션(calibration)을 해주어야 합니다.
5. 주기적으로 제로점을 확인해 주어야 합니다.

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바라트론 게이지는 제로값을 맞추어 주어야 하는데, 측정 범위에 따라서 제로값을 해주는 범위가 다릅니다.
그리고, 바라트론 게이지는 웝업과정이 필요합니다. 충분한 웜업 시간을 주어야 정확한 측정이 가능합니다. 웜업 이전에는 값이 흔들리는 현상이 있을 수 있습니다.
그리고, 설치하는 경우에는 방향이 있는 경우가 있습니다.
설치 방향을 꼭 확인 해 주어야 합니다.

2024년 9월 13일 금요일 나의 투자 기록

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