OSAKA Dry Pump Cooling Water Warning

 If there is a problem with the coolant in the Osaka Dry Pump, a warning signal will be issued.

The warning signal will come on 60 seconds after a coolant problem.

At this time, the pump continues to operate with a warning signal.

After 15 minutes, an alarm signal is generated and the pump stops operating.

If there is a problem with the cooling water in a system that uses hazardous gases such as CVD and ICP, the pump must be stopped within 15 minutes after executing the safety operation.

드라이 펌프의 퍼지에 대해서

요즘에는 독한 가스들을 사용하는 공정에 주로 드라이 펌프가 사용됩니다.
그런데, 이런 드라이 펌프는 조금만 신경을 안쓰면 파우더 발생과 같은 문제로 고장이 발생하게됩니다.

수리비도 많이 나오고, 시간도 오래 걸리고요.

드라이 펌프를 고장 나지 않게 조금이라도 오래 쓰려면, 공정이 끝나도 퍼지를 30분이상 유지해주는 것이 좋습니다. 그리고, 속도를 조절하는 기능이 있는 펌프라면 속도를 감속 시켜서 퍼지를 유지해 주는 것이 좋다고 합니다.

그리고, 터보 펌프등의 백업 펌프로 사용하는 경우에는 속도 변경을 하기전에 속도를 줄여도 문제가 없는지 확인을 해야 겠지요.