문제를 해결하기 위한 정답은 아닐 수 있으나, 경험을 통한 방법이니 만큼 해결 가능성은 있다고 생각합니다.
1. 그라파이트 라이너나 구리 라이너 보다는 몰리, 가장 적합한 것은 텅스텐이라고 생각한다.
2. 공정 파워를 최대한 낮추어야 한다. 냉각이 너무 잘되는 것은 오히려 단점으로 작용한다.
3. 2~3mm 정도 두께의 텅스텐, 몰리 시트나 가스켓을 사용해서 라이너를 공중에 띄어서 냉각을 덜 되게 만든다.
보통 이런 방식으로 spit 현상을 줄였다고 합니다.
공통 적인 것은 금의 spit 현상은 냉각이 너무 잘되는 것이 원인이라고 생각하고 있습니다.
이것에 대해서는 좀 더 생각을 해보아야 합니다.
몇몇 사람들은 주요 원인을 소스에서 발생하는 카본 성분으로 보기도 합니다.
저 같은 경우에는 소스 내부에서 발생하는 가스가 충분히 제거 되지 않아서 발생하는 것으로 생각하고 있습니다.
물론 여러가지 복합적인 문제로 발생하는 것이 맞겠지요.
분명한 것은 이것을 해결해야 온전히 품질 좋은 박막을 제조 가능하다는 것입니다.
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참고 문서
