자력에 문제가 있으면, 정상적인 펌프의 동작이 되지 않는다.
자석의 배열과 강도를 확인 해야 한다.
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QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우가 있습니다.이런 증상이 발생하게 되면, 박막 증착을 하면서 많은 어려움을 겪게 됩니다.QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우 몇가지를 확인해 볼 수 있습니다. -------------------...