스퍼터 시스템에서 플라즈마를 방전하고,
양이온이 날아가는 방향에 있는것이 캐소드입니다.
전자가 날아가는 방향에 있는것이 애노드입니다.
즉, 타겟이 캐소드이고, 섭스트레이트 쪽이 애노드가 됩니다.
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보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
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QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우가 있습니다.이런 증상이 발생하게 되면, 박막 증착을 하면서 많은 어려움을 겪게 됩니다.QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우 몇가지를 확인해 볼 수 있습니다. -------------------...