스퍼터 시스템에서 캐소드와 에노드는 어느 것인가?

스퍼터 시스템에서 플라즈마를 방전하고,

양이온이 날아가는 방향에 있는것이 캐소드입니다.
전자가 날아가는 방향에 있는것이 애노드입니다.

즉, 타겟이 캐소드이고, 섭스트레이트 쪽이 애노드가 됩니다.

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