PLD 시스템에서 AR 코팅 윈도우의 설치 방향은 어떻게 되나요?
양면 코팅된 윈도우를 사용한다면, 방향이 없습니다.
하지만, 보통 한쪽면만 코팅된 스크린 윈도우를 사용합니다.
이때 코팅된 면이 바깥으로 향하게 설치해 줍니다.
만약 코팅된 면이 외부 물질에 의해 변형 되거나 깍여나가서 문제가 된다면, 광학적 크리닝을 해주거나, 교체 설치 해주는 것이 좋습니다.
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보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
Evaporation 1) 낮은 에너지(0.1 eV 이하) 2) High Vacuum 공정에 따른 방향성이 좋다 3) Lift-Off 에 적합하다. 4) 박막의 순도가 좋다. 5) 균일도 확보가 비교적 어렵다. 6) 증착속도의 조절이 비교...
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크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...