써멀증착기 증발 원리에 따른 특성 구분

금속 박막을 만드는 증착 장비 중에서 기본적으로 많이 사용되는 것이 써멀 시스템입니다.

소스에 가열 저항을 이용하여 열을 공급하여 기화 시켜 증착하는 방식의 장비입니다. 저항 가열 증착은 물질의 특성에 따라 크게 4가지로 분류해서 생각해 볼 수 있습니다.

 

물질의 특성에 따라서 제어하는 방식과 적합한 보트를 선택하는 것이 중요합니다.