자력에 문제가 있으면, 정상적인 펌프의 동작이 되지 않는다.
자석의 배열과 강도를 확인 해야 한다.
-
보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
-
[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 lam-r-korea 현재 플라스마 식각 공정은 이전보다 더 고선택비(high selectivity), 비등방성 에칭(anisotr...