CVD에서 사용하는 자성유체 씰 선택 참고 내용

참고 사이트 https://kr.rigaku-mechatronics.com/case/

CVD에 적합한 유체실을 선택 하면서 고려해야 하는 것은.

사용 온도와 사용하는 가스에 따른 부식 문제이다.

유체실은 고온에 견딜 수 있는 유체를 사용해야 하며, 고온에서 아웃개싱이 거의 나오지 않아야 할 것이다.
그리고, 부식에 의한 문제를 해결하기 위해서는 프로세스 측에 베어링이 있어서는 안된다.