스퍼터 타겟 구매시 Wt% 와 At%를 구별 해야 하는 이유

Alloy 스퍼터 타겟을 사용하면서 주의 해야 할 점이 여러가지 있는데, 그중에 하나가 신규 타겟을 구매하는 경우 Wt%, At%를 잘 구별해서 사야 합니다.

이걸 누가 실수할까 싶은데, 의외로 꽤 많은 실수 사례가 발생합니다.

특히 외국 홈페이지에서 직접 구매하는 경우 간과하고 넘어가는 실수가 발생 할 수 있습니다.

원래 사용하던 타겟의 조성비율을 확인해 두는 것이 좋습니다.

보통 Wt%를 많이 사용하는데요.

서로 완전히 다른 특성의 박막이 만들어지게 되므로 주의 해야 합니다.

At% 는 Atomic Percentage

Wt% 는 Weight Percentage

입니다.