세라믹 타겟 파워 램프 래더 프로그램 예제

 RF파워로 세라믹 타겟을 스퍼터링 할 때는 램프 기능을 적용하는 것이 좋다.


본 예제는 레서피를 작성하고 그것에 따라 간단하게 램프업다운을 구현한 프로그램이다.

사용 PLC는 LS산전 XGT 시리즈이다.


M00010 ; 램프 레서피 모드 설정 접점

M00001 ; RF 파워 온/오프 스위치

P0001 ; RF 파워 출력 접점

P0002 ; 램프 업 완료 신호

P0003 ; 램프 다운 완료 신호

P0004 ; 스퍼터링 시간, 공정 완료 시간

C0001 ; 램프 업 경과시간

C0002 ; 램프 다운 경과시간

T0001 ; 램프 업 지연 시간

T0002 ; 램프 다운 지연 시간

T0003 ; 파워 유지 시간

D0000 ; 램프 시간 설정

D0002 ; 초당 파워 변화 비율

D0004 ; 램프 업 출력 파워

D0010 ; 램프 다운 출력 파워

D0012 ; 파워 유지 시간 설정





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