Grounding method to accurately measure the load current of a high-voltage power supply
In order to measure the current value of the device using the high voltage power of 1000 V or more, the circuit must be basically configured in series.
In this circuit, errors and noise may vary depending on the grounding condition and configuration.
In order to measure the correct current value, it is necessary to remove the noise component, and the ground condition is very important.
It is recommended that you use a power supply with floating ground capability.
Though it is usually used as a chassis ground instead of a floating ground, this configuration tends to be difficult to measure the micro current and to be very vulnerable to noise.
If the current to be measured is a micro current, you should use a power supply with a floating ground function.
Even when connecting the ground, it is recommended to use a large ground line and avoid the place where there is induction current component of the power source and motor.
QCM 센서가 안정적이지 않은 경우
QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우가 있습니다.이런 증상이 발생하게 되면, 박막 증착을 하면서 많은 어려움을 겪게 됩니다.QCM 센서가 안정이 안되고 흔들리는 경우 몇가지를 확인해 볼 수 있습니다.
-----------------------------------------------------------
1. QCM 센서의 라이프 타임센서의 라이프 타임은 보통 25% ~ 98% 정도에서 안정적으로 측정이 됩니다. 사용하지 않은 센서를 교체했는데, 99%~100%가 나오면서 안정이 안되는 경우가 있는데, 이러한 경우에는 센서를 다른 것으로 교체해 보는 것이 좋습니다.
2. 냉각수 온도가 높은 경우센서 해드에 냉각수가 필요하고, 안정적인 온도를 유지해 주어야 안정적인 측정이 가능합니다. QCM 센서는 온도당 10Hz정도의 주파수 이동현상이 발생 할 수 있습니다.
3. 센서 표면 습기의 영향크리스탈 센서 표면에 습기가 영향을 주는 경우 문제가 될 수 있습니다. 간혹 증착하는 물질이 챔버를 벤트하고, 다시 진공을 만들면서 습기를 머금거나, 남아있는 상태로 안정성에 문제를 일으키는 경우가 있을 수 있습니다. 특히, ITO, MGO 같은 물질을 증착하는 경우 이러한 문제가 있을 수 있습니다.
---------------------------------------------------------------
4. 케이블의 문제, 그리고 노이즈이러한 문제는 참 해결하기 어려운 경우가 많습니다. 케이블의 길이와 연결 부분에 노이즈 성분을 찾아서 제거해 주어야 합니다.
5. 케이블의 길이와 오실레이터의 문제보통은 사용하다가 발생하는 일반적인 문제가 오실레이터와 케이블의 접촉 불량 문제 입니다. 사용하다가 불안정한 문제가 발생한다면, 가장 먼저 확인해 보는 것이 좋습니다.
-----------------------------------------------------------
1. QCM 센서의 라이프 타임센서의 라이프 타임은 보통 25% ~ 98% 정도에서 안정적으로 측정이 됩니다. 사용하지 않은 센서를 교체했는데, 99%~100%가 나오면서 안정이 안되는 경우가 있는데, 이러한 경우에는 센서를 다른 것으로 교체해 보는 것이 좋습니다.
2. 냉각수 온도가 높은 경우센서 해드에 냉각수가 필요하고, 안정적인 온도를 유지해 주어야 안정적인 측정이 가능합니다. QCM 센서는 온도당 10Hz정도의 주파수 이동현상이 발생 할 수 있습니다.
3. 센서 표면 습기의 영향크리스탈 센서 표면에 습기가 영향을 주는 경우 문제가 될 수 있습니다. 간혹 증착하는 물질이 챔버를 벤트하고, 다시 진공을 만들면서 습기를 머금거나, 남아있는 상태로 안정성에 문제를 일으키는 경우가 있을 수 있습니다. 특히, ITO, MGO 같은 물질을 증착하는 경우 이러한 문제가 있을 수 있습니다.
---------------------------------------------------------------
4. 케이블의 문제, 그리고 노이즈이러한 문제는 참 해결하기 어려운 경우가 많습니다. 케이블의 길이와 연결 부분에 노이즈 성분을 찾아서 제거해 주어야 합니다.
5. 케이블의 길이와 오실레이터의 문제보통은 사용하다가 발생하는 일반적인 문제가 오실레이터와 케이블의 접촉 불량 문제 입니다. 사용하다가 불안정한 문제가 발생한다면, 가장 먼저 확인해 보는 것이 좋습니다.
피드 구독하기:
글 (Atom)
2026년 9월 28일 삼성전자 배당 기준일 참고
[오늘 주요 이슈] 삼성전자가 약 30조 원 규모의 대규모 3분기 현금배당(약 4600원대) 을 예고함에 따라 배당 권리를 확보하기 위한 마지막 매수 시점에 투자자들의 관심이 집중되고 있습니다. [매수일정] 삼성전자의 3분기 배당 기준일은 9월 30...
-
보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ...
-
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
-
[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 lam-r-korea 현재 플라스마 식각 공정은 이전보다 더 고선택비(high selectivity), 비등방성 에칭(anisotr...