CVD에서 사용하는 자성유체 씰 선택 참고 내용

참고 사이트 https://kr.rigaku-mechatronics.com/case/

CVD에 적합한 유체실을 선택 하면서 고려해야 하는 것은.

사용 온도와 사용하는 가스에 따른 부식 문제이다.

유체실은 고온에 견딜 수 있는 유체를 사용해야 하며, 고온에서 아웃개싱이 거의 나오지 않아야 할 것이다.
그리고, 부식에 의한 문제를 해결하기 위해서는 프로세스 측에 베어링이 있어서는 안된다.

What is the maximum baking temperature of the ion pump?

The maximum baking temperature of the ion pump is 450 degrees.



When baking at the maximum temperature, it is possible to remove the magnet and stop it.



Be careful when magnets are attached, as more than 200 degrees (up to 250 degrees) may cause magnetic problems.