PECVD 장비로 실리콘 옥사이드 박막을 증착 하는 경우, 100% 실란 가스를 사용하면, 공정 조건을 확인 하기가 어렵습니다.
원하는 특성의 박막을 얻기 위해서는 10%정도 포밍되어 있는 실란 가스를 사용하는 것이 실란의 미세량 조절에도 용이하고, 플라즈마 방전에도 장점이 있습니다.
그리고, MFC의 적절한 용량을 선택하는 것에도 유리합니다.
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보통 스로틀 밸브와 연동해서 사용하는 바라트론 게이지를 보면, 진공도 값이 일반적인 진공게이지 값과 차이가 있습니다. 이 값이 다른 이유는 바라트론게이지의 경우 절대게이지로서, 제로값에서 일정 압력 값까지 측정하는 방식이기 때문입니다. 보통의 ... -
크라이오 펌프를 사용하다가 보면 내부 온도가 상승하거나 진공장치의 압력이 내려가지 않을 경우 크라이오 펌프를 재생해야 한다는 말을 듣게 된다. 그러면 크라이오 펌프의 재생(regeneration)이란 무엇인가? (보통 이야기할 때 재생...
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[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 lam-r-korea 현재 플라스마 식각 공정은 이전보다 더 고선택비(high selectivity), 비등방성 에칭(anisotr...