자석과의 거리에 따른 니켈 스퍼터링 증착 효율 감소

 니켈이나 철과 같은 자성체 물질을 스퍼터로 증착하는 경우에는 일반 금속과는 다르게 주의 해야하는 것들이 꽤 있습니다.

 우선, 타겟의 두께는 2mm가 넘지 않는 것을 사용하는 것이 좋습니다. 타겟의 두께가 두꺼우면 방전이 제대로 안되는 경우가 많습니다.

 초기 방전 압력은 조금 높게 유지 하는 것이 좋습니다.

 이것은 일반적으로 많이 알려져 있지만, 자석과의 거리를 얼마로 유지하는 것이 적당한 것인지는 좀 생각을 해보아야 합니다.

 우선 가까울수록 좋은 것은 말할 필요도 없습니다. 다만, 자석과 가까울 수록 교체하는 것이 매우 힘들다는 점입니다.
 자석과의 거리를 조금 멀리 하면, 아무래도 타겟 교체가 용이해 집니다.

 실험적으로 1mm 정도의 거리에 따라서 15%정도의 효율 감소를 생각 하면 될 거 같습니다.
 최대 4mm 정도 떨어진 거리까지 사용 가능 한 것으로 생각하면 될 것 같습니다.

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