보통의 급속열처리 장비로 Spike Annealing 테스트한 결과 입니다.
(최근에는 이러한 공정에 특화된 장비를 Flash-Assist RTP, FRTP로 구분합니다.)
30초 이내로 냉각을 하기 위해서는 가스의 유량이 1리터 이상은 되어야 할 것 같습니다.
10초 이내의 삼각파를 구현하기 위해서는 별도의 냉각 시스템도 구성되어야 합니다.
2000sccm 정도의 냉각 가스로는 60초, 10펄스 이상은 구현이 힘들어 보입니다.
300도 유지하면서 700도로 spike 공정한 그래프 입니다. 최대 온도는 1000도 정도가 적당한 것으로 판단 됩니다.
참고 프로파일
https://www.researchgate.net/figure/Temperature-profiles-of-a-1050-C-spike-anneal-and-a-1050-C-hot-shield-anneal_fig13_230603646
spike 열처리 참고사이트
http://www.monolithic3d.com/laser-annealing.html
